電離真空計的校準注意事項

   真空計按測量性質(zhì)可分為真空計和相對真空計。所謂真空計就是通過測量物理量本身確定壓力的種真空計,例如U型壓力計、壓縮式真空計就是真空計。通過測量與壓力有關的物理量并與真空計比較來確定壓力的真空計稱為相對真空計。我們校準的電離真空計、電容薄膜真空計、熱傳導真空計,都是相對真空計。電離真空計,電離規(guī)管的結構為個圓筒型三管,它有三個電:陰F發(fā)射電子;柵A加速電子,收集C收集離子。般陰加零電位,柵加正電位,收集加負電位。它的點主要是能夠測量氣體與蒸氣的全壓強; 反應迅速,可連續(xù)讀數(shù)和遠距離控制; 量程寬,線性好,測量精度較。缺點主要是在壓強于10- 1 Pa時,容易氧化燈絲,旦系統(tǒng)突然暴露大氣會燒壞規(guī)管;玻殼、電的放氣導致測量的誤差。
校準電離真空計時,應注意以下六點:
(1)般情況下,規(guī)管和系統(tǒng)連接時,先將未開封的規(guī)管和測量電路連接到起試下,檢查規(guī)管是否正常,然后再接到系統(tǒng)。
(2)在校準的過程中,如果出現(xiàn)故障,在原因不明的情況下,拿支未開封的規(guī)管試下,判斷是規(guī)管的問題,還是電路的問題。如果換上未開封的規(guī)管切正常,說明原規(guī)管有問題;如果換上未開封的規(guī)管仍然不正常,說明電路有問題,這樣就縮小了故障的范圍。
(3)規(guī)管安裝時應豎直安裝,否則在加熱除氣,烘烤時柵和陰產(chǎn)生變形,相對位置變化,將會嚴重影響測量精度。
(4)在開燈絲前,判斷被測真空系統(tǒng)中的真空度確信小于10-1Pa時,才能開燈絲,否則真空度太低,導致規(guī)管陰氧化而燒毀。
(5)在讀數(shù)之前,應先調(diào)整好發(fā)射電流、零點及滿度。具體步驟是: 發(fā)射電流—零點—滿度—發(fā)射電流。
(6)電離真空計只需要加電預熱10分鐘就可以校準了。

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